共焦方式

光纖共聚焦

高靈敏度

硅三階拉曼峰的信噪比好于20:1，并能觀察到四階峰

空間分辨率

≤1μm@100X物鏡，NA0.9，532nm單縱模激光器

光譜CCD探測器

分辨率≥2000x256

量子效率在700nm-870nm區(qū)間處>90%，

光譜范圍：200 ~ 1100 nm

熒光/熒光壽命成像

光譜掃描范圍

200-900nm

最小時間分辨率

16ps

熒光壽命測量范圍

500ps-10μs

空間分辨率

≤1μm@100X物鏡@405nm皮秒脈沖激光器

光電流/光電流成像

激光器（光源）

標配532nm激光器，能量穩(wěn)定性1%@4小時

可選配2路激光器用于光電流測試

數(shù)據(jù)采集

電流源表：Keithley 2450

測量范圍：1nA – 1A

暗噪聲：50pA

分辨率：20fA

準確度： 0.03%

探針臺

直徑65mm真空吸附卡盤

探針座和樣品整體二維移動，方便樣品位置與光斑位置重合

樣品位置單獨二維移動，方便同類樣品更換

樣品位置移動行程25mm，分辨率5μm

探針座：XYZ行程12mm，分辨率0.7μm

探針：鎢針，直徑5μm，10μm，20μm可選

測試功能

光電流掃描（Mapping）：可以設定固定的電壓，逐點獲取電流值

I-V曲線掃描（Mapping）：可以設定*定的電壓區(qū)間，逐點獲取I-V曲線