大家都知道的是振動是一種能量，它以振動波傳遞，具有一定的頻率。我們的設(shè)備在運行時也有一個頻率段，當二者有重合的時候就是非常我們所說的振動與不穩(wěn)定。通常的振動頻率一般都是高頻，可在50-100HZ，而細微隔振就是通過隔振裝置達到衰減、吸收客觀環(huán)境下的振動能量，降低振動頻率使之降到10HZ以下，非常好的隔振可以降低到5HZ。
 

　　隔振平臺被設(shè)計用來使超精密儀器設(shè)備可以隔離來自于建筑地面的振動，可隔離的頻率低于1Hz。該系統(tǒng)可理想應(yīng)用于光學顯微鏡、掃描探針顯微鏡(SPM)及計量儀器。具有主動隔振系統(tǒng)設(shè)計，可以輕松選擇并設(shè)置三個增益中的一個以獲得適合當前環(huán)境的性能。

　　隔振平臺主要還是包含了這五個組成部分：隔振臺面、減振單元、支撐腿、安全裝置、可調(diào)地腳。核心部件是減振單元和工作臺面。
 

　　隔振平臺的工作臺面按材質(zhì)大體分兩大類：大理石臺面和不銹鋼臺面。大理石臺面一般對工作面是00級要求，而不銹鋼臺面也要求有不超過0.02mm的水平誤差，這一切都是基于保證設(shè)備水平的技術(shù)要。
 

　　隔振平臺的減振單元主要使用氣浮減振器(空氣彈簧減振器)。具體又可以根據(jù)實際的使用情況下選擇精密氣浮減振器和常規(guī)的氣浮減振器。